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工業(yè)凈化廠房建設(shè)

電子集成電路潔凈廠房設(shè)計(jì)建造
2023-02-25

集成電路無(wú)塵車(chē)間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無(wú)塵車(chē)間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室集成電路制造無(wú)塵車(chē)間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。
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